수계용 소포제로서 포토레지스트에 손상을 주지 않을 뿐만 아니라, 소량으로도 뛰어난 소포 및 억포 효과를 발휘합니다.
Bath 및 공정 조건에 따라 변화를 줄 수 있으나 일반적으로 1 ~2 ㎖/ℓ 정도의 농도로 건욕하여 사용하십시오.